
| ग्रेटिंग पिच | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| थर्मल विस्तार | 10.6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| संकल्प | 0.5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| repeatability | ±1 वेतन वृद्धि | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| अधिकतम गति मी/मिनट | 60(5μm) ; 20 (1μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| उत्पादन का प्रकार | टीटीएल / ईआईए422ए | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| max.acceleration | 20मी/वर्ग² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| सुरक्षा | आईपी54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| बिजली की आपूर्ति | 60mA अधिकतम | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| चरण विस्थापन | 90±5°विद्युत | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| परिचालन तापमान | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| भंडारण तापमान | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| नमी | 100% संघनित नहीं |