झंझरी पिच | 20um |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
थर्मल विस्तार | 10.6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
संकल्प | 0.5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
repeatability | ±1 वृद्धि | |||||||||||||||||||||||||||||||||
अधिकतम गति एम/मिनट | 60 (5μm);20 (1सुक्ष्ममापी) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
उत्पादन का प्रकार | टीटीएल/ईआईए422ए | |||||||||||||||||||||||||||||||||
max.acceleration | 20 मी / वर्ग | |||||||||||||||||||||||||||||||||
सुरक्षा | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
बिजली की आपूर्ति | 60mA मैक्स | |||||||||||||||||||||||||||||||||
चरण विस्थापन | 90 डिग्री ± 5 डिग्री विद्युत | |||||||||||||||||||||||||||||||||
परिचालन तापमान | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
भंडारण तापमान | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
नमी | 100% संघनित नहीं |